近日，北方华创集团下属全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司SaquaTM单片清洗机正式进驻中芯北方集成电路制造（北京）有限公司（简称“中芯北方”）28纳米生产线，这是国产半导体设备在集成电路领域取得了又一重大突破。

集成电路铜制程清洗工艺要求在颗粒控制、铜腐蚀率、金属污染控制、交叉污染控制等方面有极高的工艺标准。北方华创自主研发的新一代SaquaTM单片清洗机，是继90纳米、65/55纳米产品后的又一次升级，新设备能完全满足集成电路代工厂28纳米技术代的生产工艺要求。同时，SaquaTM单片清洗机兼具通孔/沟槽刻蚀后清洗、衬垫去除后的清洗等多种工艺，支持多任务并行处理，可最大程度提高产能。

到目前为止，北方华创已经有硅刻蚀机、PVD设备、单片退火设备、氧化炉、退火炉、LPCVD设备及单片清洗机等进入国内主流集成电路生产线，实现稳定量产。北方华创将以此次进驻为契机，进一步跟进客户需求，为客户创造更多价值，实现国产集成电路设备的不断超越。