日前，《北京市人民政府关于2022年度北京市科学技术奖励的决定》正式公布，经市科学技术奖励评审委员会评审、审定，市政府批准授予北方华创董事长赵晋荣北京市突出贡献中关村奖，授予北方华创“硅薄膜外延设备研发及产业化”项目北京市科学技术进步奖一等奖。

    据了解，突出贡献中关村奖是北京市科学技术的最高奖,旨在奖励在科学研究中取得重大发现、推动科学发展和社会进步或在关键核心技术研发中取得重大突破、创造巨大经济社会效益或生态环境效益的个人。

    北方华创董事长赵晋荣是中国集成电路装备领域专家，深耕集成电路产业近40年。他带领北方华创团队成功开发了等离子体刻蚀机多代机型并实现产业化，同时组织多项集成电路装备项目研制，以创新驱动发展，逐步完善产业链建设，不断提升国内集成电路产业综合竞争力，持续倡导产业上下游密切合作、互利共赢、价值共享。此次获得北京市突出贡献中关村奖，是对北方华创团队在高端集成电路装备领域持续创新能力和对产业发展卓越贡献的充分肯定。

    外延工艺是集成电路芯片制造中必不可少的核心工艺。据介绍，北方华创“硅薄膜外延设备研发及产业化”项目历经多年自主研发，取得了多项创新性成果。设备突破了硅外延工艺腔室多路多区平流气体分配技术、多区红外加热模块和控温技术、“EPI视觉”高温可视化监控技术、高洁净腔室控制技术等四大关键技术，具有稳定性高，调控能力强，应用范围广等特点，各项指标均达到业界先进水平。

    面向未来，北方华创将持续深耕半导体基础产品领域，推动产业进步，创造无限可能。